阿斯麦(ASML)半导体设备空气弹簧减震器限位块的

空气弹簧限位块的制作方法

权名字：阿斯麦(ASML)半导体设备空气弹簧减震器弹簧定位块的生产制造方式

本实用新型涉及到一种阿斯麦(ASML)半导体设备空气弹簧减震器，特别是对减震器定位弹簧结构的。

小型机器上采用的减振器一般选用双缸油弹簧减震器。储罐缸和工作中缸合二为一。减振器的减震作用是根据工作上主缸完成的，实现缩小减震作用。但因为工作上缸壁厚较薄，当弹簧定位块精准定位在工作中缸上时，很容易因电焊焊接而造成形变；其次，弹簧限位开关的绝对高度不能调，危害弹簧预紧力的调整；

本实用新型关键处理目前工艺中具有的弹簧定位块的调节、精准定位和空气弹簧弯曲刚度的技术性问题。

该产品的以上工艺问题关键经过以下技术标准来处理：空气弹簧定位块套建在工作中缸的外内壁，螺旋弹簧为锥形螺旋弹簧。

甄选地，上述弹簧定位块的内孔为法兰片面，内壁为锥形，其光洁度和工作中缸上张口扩口处的光洁度一致。另一种解决方法是在弹簧定位块下边有一个法兰片面，上边的孔径是一个轴对称的斜坡，2个定位块对称放置在工作中缸的外内壁。

因此，该产品具有结构合理、弹簧定位块精准定位便捷、弹簧扭距绝对高度调节很容易、弹簧弯曲刚度随外荷载提高而扩大、减震实际效果明显提高的特点。