硅片边沿曝出设备气动隔振系统的特性

硅片边沿曝出设备气动隔振系统的特性
 

硅片边沿曝出设备气动隔振系统作为工业生产中的一种重要减振器，其主要的功效在于控制生产过程中各部构件配合产生的噪音以及异常震动，能显着提升设备使用寿命、使用者的体验性和生产过程的稳定性。目前，气动隔振系统及主动减振系统已经成为了工业活动重要部件。

 

主要区别就在于其工程控制对象的差异。硅片边沿曝出设备气动隔振系统的工作原理是控制振动源，促使振动源不能将震动传导到其他工业设备中，起到减震减振的功效。而主动减振系统的工作原理是保护受震动部件，促使受保护部件不会受到外来的振动源的影响。可是，主动减振系统不会像气动隔振系统那样控制振动源的影响。因此，如果振动源能够影响多个部件，则气动隔振系统更加适合该工业生产过程。

2个重要特性就是其设计方案的精密性和组装步骤的便利性。一般能够被广泛运用在不同设备上，具有良好的适应性。一些使用了高纯度石墨复合型橡胶的密封件的气动隔振系统，能够当出现气体泄漏以后持续工作一段时间，该特点提升了在维修方面的开放式。
 

综上，气动隔振系统在工业设备中具有广泛应用性，根据减振目标、弹簧材料和工艺的差异，其性价比也就不同，需要在市场中与同类产品进行充分比较，才能选出能满足需求的产品。