橡胶空气弹簧技术领域的核心技术

橡胶空气弹簧技术领域的核心技术
橡胶空气弹簧自然环境振动早已成为了制约械加工设备和检测仪器度和特点提升的主要要素。尤其是以步进电扫描仪光刻技术为代表的集成电路工艺电子器件生产设备，技术性抗压强度和复杂性高，橡胶空气弹簧重要性能参数做到了原来工艺的，意味着了械加工的较高设备。
橡胶空气弹簧高减震已变成此类设备的关键核心技术；步进电扫描仪光刻技术线距已做到22nm及以下，圆晶精度级别和叠合度做到数技术，商品工件台速度做到lm/s以上，商品工件台瞬时速度做到重力加速度的几十倍，对原有的橡胶空气弹簧振动明确提出了新的挑战隔离技术。与此同时还推动商品工件操作台迅速、高瞬时速度移动，这对减震减振特点明确提出了为严苛的规定。
三个方位的共振频率都在1Hz以下，光刻技术各部件之间相对位置，如光刻技术测微目镜与单晶硅片表层的间距，都是有十分严谨的规定，处于关闭的位置环中。在反馈意见自动控制的操纵下，规定橡胶空气弹簧上下安装板中间的相对位置度做到数量，而传统化的精度远远地不可以符合要求。