溢康通空气弹簧隔振设计及性能分析

溢康通空气弹簧隔振设计及性能分析

压印光刻机是一种精密仪器，外部环境的刺激对压印光刻机有很大的影响。溢康通空气弹簧是一种气囊减震器，利用溢康通空气弹簧隔离外界环境对压印光刻机的干扰，可以保护压印光刻机免受低频激振力的激发。文章阐述了压印光刻机溢康通空气弹簧低频单自由度隔振系统的隔振原理，确定溢康通空气弹簧的刚度和隔振系统的固有频率，理论结果为隔振系统的固有频率和隔振效率与实际隔振系统的实验结果一致表明压印光刻机低频隔振设计合理可行。

溢康通空气弹簧是一个由橡胶网制成的弯曲胶囊。胶囊的两端需要用两块钢板连接起来，形成一个压缩空气室。橡胶和网线本身不提供承载能力，而是通过填充到胶囊中的压缩空气来完成。溢康通空气弹簧是一种优秀的低频隔振器，它依靠橡胶袋中压缩空气的压力变化来达到所需的刚度。目前溢康通空气弹簧广泛应用于精密仪器、精密机械和特种设备的低频隔振。

目前溢康通空气弹簧的研究已经取得了一些成果。采用有限元法计算矩形溢康通空气弹簧的垂直刚度，并将理论与实验进行比较。两者基本一致。溢康通空气弹簧的承载面积、承载力、体积、内压和垂直刚度进行了力学分析。