投射光刻机气动隔振系统有哪些方式

投射光刻机气动隔振系统有哪些方式
 

1、设计方案绝对高度更低：和传统汽缸对比，增压器的投射光刻机气动隔振系统并没有液压油缸。设计方案含有什么方法可以大幅度降低弹簧的绝对高度？使构造更紧密。
 

2、无电源适配器的好姿态：工业设备气襄扭力弹簧的倾斜视角做到30°，便捷设计师设计方案连接组织计划方案。（注：假如设施的规格型号和规格不一样，许可的俯仰角也不一样。）
 

3、型号选择低成本：和传统汽缸对比弹簧，气体增压器弹簧不仅低成本，并且使用期限长，免维修保养空气弹簧减震器哪里好，成本费可控性。

 

4、无磨擦免维护保养：即便在严酷的应用情况下弹簧，弹簧也可以正常的工作中。因为打气筒内并没有互相摩擦的构件（液压密封件），因此就算在有很多尘土、细微颗粒物或沉淀的条件下都不容易损坏。
 

5、结合实际出色的疲惫减轻：气囊弹簧在动态性前提下也十分耐疲惫，由于这类气囊用以各种各样化工品的生产制造普遍的应用和检查，即使他们是不容易受天气和外部环境的危害。就算承载力大，工业设备仍能维持较长的使用年限。
 

6、气体增压器投射光刻机气动隔振系统的气轴抗压强度可达30mm，在该地区工作时可始终保持。与汽缸或液压油缸不一样，汽缸不容易纸卡或受损液压密封件，都不应用易受尘土与别的碎渣损伤的滚桶。
 

7、便于组装：当不除尘时，气囊投射光刻机气动隔振系统组装迅速轻轻松松，省时省力、时间精力和成本费。除此之外，该元器件具有较强的延展性，可以赔偿细微的误差。